В последнее время часто приходится слышать о том, что эволюция технологических процессов завершается. Но никто не верит в то, что развитие производственных технологий остановится совсем, поэтому правильнее задать другой вопрос: прекратится ли возможность разрабатывать и внедрять новые технологические процессы каждые 2 года, как это было спрогнозировано Гордоном Муром около 50 лет назад?
Перед тем, как делать прогнозы, обратимся к истории. В индустрии микроэлектроники все начиналось с относительно простых вещей. Традиционные МОП-транзисторы для микропроцессоров имели фиксированную архитектуру, и перспективы внедрения новых производственных технологий были очевидны: уменьшаем размеры по вертикали и горизонтали, понижаем напряжение – и получаем желаемое: еще более компактные, еще менее «прожорливые» в отношении энергии более быстрые транзисторы. Конечно, периодически приходилось внедрять что-то новое: ионную имплантацию, самосовмещенные затворы, нитридные подзатворные элементы. Но сама архитектура оставалась неизменной в течение многих лет.
Читать подробнее...
